沈阳仪表科学研究院有限公司自动双面光刻机设备采购项目公开招标公告

招标编号：XDZH-2025YBHW-08

公告发布时间：2025年5月22日

1.招标条件

本招标项目为自动双面光刻机设备采购项目，招标人为沈阳仪表科学研究院有限公司，资金来源为国企自筹资金。该项目己具备招标条件，现对自动双面光刻机设备采购项且进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

2.1招标内容：自动双面光刻机设备1台；最高限价620万元。

2.2主要参数

2.2.1 ★曝光面积：不小于160mm直径；

2.2.2 ★曝光照度不均匀性：≤2.5%,并且配备光强计；

2.2.3 ★曝光强度：0～50mw/cm²连续可调；

2.2.4★晶圆尺寸：4时和6时可切换；

2.3交货期：8个月内。

2.4交货地点：沈阳市浑南区李巴彦路8号。

3.投标人资格要求

3.1投标人应具有独立法人资格的制造商或代理商；

3.2制造商应具有两年以上相关产品的生产经验以及相应的业绩；

3.3代理商参与投标，必须提供制造商出具的授权函原件；

3.4本次招标不接受联合体投标。

4.招标文件的获取

4.1获取时间：2024年5月23日9:00时至2024年5月29日16:00时(北京时间),节假日除外。

4.2招标文件每套售价500元，售后不退。

4.3招标文件获取方式：在获取时间内，通过电子邮件提交资格文件和获取招标文件。资格文件

包括：法人代表证明、法定代表人签署的委托代理人授权书等。

5.投标文件的递交

5.1投标文件递交的截止时间为2025年6月18日9时30分。

5.2逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

注:邮件发送(项目名称+单位名称+联系电话)获取登记表。

联系人：王 工

电   话：13261121256

E-mail：13261121256@163.com